Силабус дисципліни "Плазмо-хімічнітехнологіі"

Loading...
Thumbnail Image

Date

2021

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Національний університет «Запорізька політехніка»

Abstract

Description

Силабус дисципліни "Плазмо-хімічні технологіі" для магістрів, спеціальність 153 "Мікто- та наносистемна техніка", освітня програма "Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої" / Укл.: В. М. Матюшин. – Запоріжжя: НУ "Запорізька політехніка", 2021. – 7 с.

Keywords

плазма, хімія поверхні, технологія, plasma, surface chemistry, technology, плазма, химия поверхности, технология

Citation