Силабус дисципліни "Фізика і хімія поверхні"
Loading...
Date
2021
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Національний університет «Запорізька політехніка»
Abstract
Description
Силабус дисципліни " Фізика і хімія поверхні" для магістрів, спеціальність 153 "Мікто- та наносистемна техніка", освітня програма "Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої" / Укл.: В. М. Матюшин. – Запоріжжя: НУ "Запорізька політехніка", 2021. – 7 с.
Keywords
плазма, хімія поверхні, технологія, plasma, surface chemistry, technology, плазма, химия поверхности, технология