Please use this identifier to cite or link to this item: http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/7685
Title: Силабус дисципліни "Фізика і хімія поверхні"
Other Titles: The syllabus of the discipline "Surface physics and chemistry"
Силлабус дисциплины "Физика и химия поверхности"
Authors: Матюшин, Володимир Михайлович
Matyshin, Volodimir M.
Матюшин, Владимир Михайлович
Keywords: плазма
хімія поверхні
технологія
plasma
surface chemistry
technology
плазма
химия поверхности
технология
Issue Date: 2021
Publisher: Національний університет «Запорізька політехніка»
Description: Силабус дисципліни " Фізика і хімія поверхні" для магістрів, спеціальність 153 "Мікто- та наносистемна техніка", освітня програма "Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої" / Укл.: В. М. Матюшин. – Запоріжжя: НУ "Запорізька політехніка", 2021. – 7 с.
URI: http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/7685
Appears in Collections:Навчально-методичний комплекс дисциплін кафедри ІБ та Н

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
S_Matyshin.pdfСилабус навчальної дисципліни 358.19 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.