Матюшин, Володимир МихайловичMatyshin, Volodimir M.Матюшин, Владимир Михайлович2021-09-102021-09-102021http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/7685Силабус дисципліни " Фізика і хімія поверхні" для магістрів, спеціальність 153 "Мікто- та наносистемна техніка", освітня програма "Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої" / Укл.: В. М. Матюшин. – Запоріжжя: НУ "Запорізька політехніка", 2021. – 7 с.ukплазмахімія поверхнітехнологіяplasmasurface chemistrytechnologyплазмахимия поверхноститехнологияMethodological guidelines