Таланін, Віталій ІгоровичТаланін, Ігор ЄвгеновичСирота, Анатолій ВасильовичTalanin, Vitaliy I.Talanin, Igor E.Sirota, Anatolij V.Таланин, Виталий ИгоревичТаланин, Игорь ЕвгеньевичСирота, Анатолий Васильович2019-11-252019-11-252007http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/4987В.И. Таланин, И.Е. Таланин, А.В. Сирота. Моделирование взаимодействия точечных дефектов в процессе роста бездислокационных монокристаллов кремния / IV Рросійська конференція з міжнародною участю з фізики, матеріалознавства і фізико-хімічним основам технологій отримання легованих кристалів кремнію і приладових структур на їх основі, «Кремній - 2007» (3-6 липня 2007 р.)UK: Сформульовано математична модель процесу утворення первинних ростових мікродефектів на основі диссоциативного процесу дифузії. Розглянуто випадки взаємодії «кисень-вакансія» (0 + V) і «вуглець-власний межузельний атом кремнію» (З + 1) поблизу фронту кристалізації для бездислокаційних монокристалів кремнію, отриманих методами бестигельной зонного плавлення і Чохральського EN: A mathematical model of the process of formation of primary growth microdefects based on the dissociative diffusion process is formulated. The cases of oxygen-vacancy (0 + V) and carbon-intrinsic interstitial silicon atom (C + 1) interactions near the crystallization front for dislocation-free silicon single crystals obtained by crucibleless and Czochralski methods are considered. RU: Сформулирована математическая модель процесса образования первичных ростовых микродефектов на основе диссоциативного процесса диффузии. Рассмотрены случаи взаимодействия «кислород-вакансия» (0+V) и «углерод-собственный межузельный атом кремния» (С+1) вблизи фронта кристаллизации для бездислокационных монокристаллов кремния, полученных методами бестигельной зонной плавки и Чохральского.rugrowth microdefectsheterogeneous diffusion modeldislocation-free silicon single crystalscrucible zone meltingростові мікродефектигетерогенна диффузиона модельбездіслокаційні монокристали кремніюбестигельне зонне плавленняростовые микродефектыгетерогенная диффузионная модельбездислокационные монокристаллы кремниябезтигельная зонная плавкаArticle