Ігнаткін, Валерій УстиновичYhnatkyn, Valeriy. U.Ігнаткин, Валерий УстиновичМатюшин, Володимир МихайловичMatyushin, Volodumur M.Матюшин, Владимир МихайловичТомашевський, Олександр ВолодимировичTomashevskyi, Oleksandr V.Томашевский, Александр Владимирович2017-10-102017-10-102017http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/2174Основи метрології: [Електронний ресурс]: навч. посіб. / В. У. Ігнаткін, О. В. Томашевський, В. М. Матюшин - Електрон. дані. – Запоріжжя : Запорізький національний техніч-ний університет, 2017. - 1 електрон. опт. диск (DVD-ROM); 12 см. – Назва з тит. екрана.UK: Викладені основні поняття та положення теоретичної, прикладної і законодавчої метрології. Як приклад вимірювань, розглянуті методи вимірювань параметрів напівровідникових кристалів та мікроструктур. Посібник призначений для студентів, що навчаються по спеціальностям галузі знань «15 Автоматизація та приладобудування». Також, посібник буде корисним для студентів інших спеціальностей вищих навчальних закладів, на яких вивчають основи метрології. EN: The basic concepts and positions of scientific, applied and legal metrology are stated. As an example of measurements, methods for measuring the parameters of semiconductor crystals and microstructures are considered. The study guide is intended for students studying in the field of knowledge "15 Automation and Instrumentation". Also, the study guide will be useful for students of other specialties of higher education institutions, where they study the basics of metrology. RU: Изложены основные понятия и положения теоретической, прикладной и законодательной метрологии. В качестве примера измерений, рассмотрены методы измерений параметров полупроводниковых кристаллов и микроструктур. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по специальностям отрасли знаний «15 Автоматизация и приборостроение». Также, пособие будет полезным для студентов других специальностей высших учебных заведений, на которых изучают основы метрологии.ukметоди вимірюваньпохибка вимірюванняметрологічна характеристикавимірювання параметрів мікроструктурmeasurement methodsmeasurement errormetrological characteristicmeasurement of microstructure parametersметоды измеренийпогрешность измеренияметрологическая характеристикаизмерение параметров микроструктурBook