Жавжаров, Євген ЛеонідовичЖавжаров, Евгений ЛеонидовичZhavzharov, Evgen L.Коротун, Андрій ВіталійовичКоротун, Андрей ВитальевичKorotun, Andriy V.Смирнова, Ніна АнатоліївнаСмирнова, Нина АнатольевнаSmirnova, Nina A.2015-03-192015-03-192014http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/89Методичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни „Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки“ для студентів спеці-альності 6.050801 „Мікро- та наноелектроніка“ денної й заочної форм навчання / Укл.: Є. Л. Жавжаров, А. В. Коротун, Н. А. Смирнова. – Запоріжжя: ЗНТУ, 2014. – 54 с.UK: Наведені методичні рекомендації та вказівки до виконання лабораторного практикуму з дисципліни "Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки" EN: Provides guidelines and instructions to perform laboratory works on discipline "Technology fundamentals of electronics. Thin films" RU: Приведены методические рекомендации и указания к выполнению лабораторного практикума по дисциплине "Технологические основы электроники. Тонкие пленки"ukтонка плівкаплівкові резистори, конденсатори, індуктивностітермічне випаровуваннямагнетронне розпиленняВУП-4, ВУП-5поверхневий опірадгезіяструктура плівкиthin filmfilm resistors, capacitors, inductancethermal evaporationmagnetron sputteringVUP-4, VUP-5surface resistanceadhesionthe film structureтонкая пленкапленочные резисторы, конденсаторы, индуктивноститермическое испарениемагнетронное распылениеВУП-4, ВУП-5поверхностное сопротивлениеадгезияструктура пленкиOther