Буток, Олександр МиколайовичButok, Olesandr MykolayovychЧигіль, Юрій ІвановичChygil, Yuriy IvanovychРубіш, Василь МихайловичRubish, Vasyl MykhaylovychКрючин, Андрій АндрійовичKryuchyn, Andriy Andriyovych2025-11-072025-11-072024https://eir.zp.edu.ua/handle/123456789/24206Буток О. М. Аналіз процесу вилучення залишків металевої плівки сфокусованим лазерним випромінюванням / О. М. Буток, Ю. І. Чигіль, В. М. Рубіш, А. А. Крючин // Сучасні проблеми і досягнення в галузі радіотехніки, телекоммунікацій та інформаційних технологій: Тези доповідей ХІІ Міжнародної науково-практичної конференції (10-12 грудня 2024 р., м. Запоріжжя). – Запоріжжя: НУ «Запорізька політехніка», 2024. – С. 201-203.ukнанолітографіялазерне випромінюванняабляціяметалеві дефектиnanolithographylaser radiationablationmetal defectsThesis