Антоненко, Олександр СтепановичАнтоненко, Александр СтепановичAntonenko, Olexandr S.Пономаренко, Олена СтепанівнаПономаренко, Елена СтепановнаPonomarenko, Olena S.2015-03-202015-03-202004http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/150Методичні вказівки до виконання лабораторної роботи № 1 “Розрахунки та проектування плівкових елементів мікросхем” з дисципліни «Технологія та конструювання мікросхем» для студентів професійного напрямку 0910 «Електронні апарати» спеціальності 8.0910001 «Виробництво електронних засобів» усіх форм навчання/ Укл.: О.С.Антоненко, О.С. Пономаренко. – Запоріжжя: ЗНТУ, 2004. – 37с.UK: Методичні вказівки до виконання лабораторної роботи № 1 “Розрахунки та проектування плівкових елементів мікросхем” з дисципліни «Технологія та конструювання мікросхем» EN: Methodological guidelines forlaboratory work№1 "calculation and design elementsof filmmicrocircuits" discipline "Technology and design of chips" RU: Методические указания по выполнению лабораторной работы №1"Расчеты и проектированиепленочныхэлементовмикросхем" по дисциплине "Технология и конструирование микросхем"ukтонкоплівкова технологіяфотолітографіятонкоплівковий резистортонкоплівковий конденсаторthin-film technologyphotolithographythin filmresistorthin filmcapacitorтонкопленочнаятехнологияфотолитографиятонкопленочный резистортонкопленочный конденсаторOther