Фарафонов, Олексій ЮрійовичФурманова, Наталія ІванівнаКоновалова, Ірина ПетрівнаFarafonov, Olexiy Yu.Furmanova, Nataliia I.Konovalova, Irina P.Фарафонов, Алексей ЮрьевичФурманова, Наталия ИвановнаКоновалова, Ирина Петровна2020-01-292020-01-292019http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/5328Методичні вказівки до виконання лабораторних робіт з дисципліни «Проектування мікро- і наноструктур» для студентів спеціальності 172 «Телекомунікація та радіотехніка» освітньої програми «Інтелектуальні технології мікросистемної радіоелектронної техніки» усіх форм навчання / укладачі: О.Ю. Фарафонов, Н.І. Фурманова, І.П. Коновалова. – Запоріжжя : ЗНТУ, 2019. – 22 с.UK: Наведені методичні вказівки до виконання лабораторних робіт з дисципліни «Проектування мікро- і наноструктур» для студентів спеціальності 172 «Телекомунікація та радіотехніка». EN: Methodical recommendations and instructions for laboratory works for students of specialty 172 “Telecommunication and radiotechnics” have been provided RU: Приведены методические указания и рекомендации к лабораторных работ для студентов специальности «Телекоммуникации и радиотехника»ukпроектуваннямікроструктураСАПРмікросистемна технікаDesigningMicrostructureCADMicrosystem technologyаnalysisDesigningпроектированиемикроструктураСАПРмикросистемная техникаанализMethodological guidelines