Скидан, Олександр ІвановичSkidan, Oleksandr2026-06-042026-06-042025https://eir.zp.edu.ua/handle/123456789/29222Скидан О. І.. Підсилення тунельного струму в тонкій острівцевій металевій плівці за рахунок збудження поверхневих плазмонів: магістерська робота / О. І. Скидан – Запоріжжя: НУ «Запорізька політехніка», 2025. – 61 с.UK: Мета роботи: дослідження основних етапів та технологічних операцій виробництва інтегрованих мікросхем та визначити параметри, які дозволять підвищити надійність інтегральних мікросхем на етапі металізації. Об’єктом дослідження є інтегральні мікросхеми, предметом дослідження є технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем. Методи дослідження: експериментально-аналітичний, статистичний. EN: Purpose of the work: to study the main stages and technological operations of the production of integrated circuits and to determine the parameters that will increase the reliability of integrated circuits at the metallization stage. The object of the study is integrated circuits, the subject of the study is the technological process of manufacturing integrated circuits. Research methods: experimental-analytical, statistical.ukінтегральна мікросхематехнологічний процесметалізаціяintegrated microsciptechnological processmetallizationMaster thesis