Коротун, Андрій ВіталійовичKorotun, Andriy V.Коротун, Андрей Витальевич2021-09-272021-09-272021http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/7874Силабус дисципліни "Основи нанолітографії" для магістрів, спеціальність 153 "Мікто- та наносистемна техніка", освітня програма "Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої" / Укл.: А. В. Кортун. – Запоріжжя: НУ "Запорізька політехніка", 2021. –8 с.сенсориsensorsсенсорыMethodological guidelines