Коротун, Андрій ВіталійовичKorotun, Andriy V.Коротун, Андрей Витальевич2021-09-132021-09-132021http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/7692Силабус дисципліни "Методи діагностики та аналізу мікро- і наноструктур" для магістрів, спеціальність 153 "Мікто- та наносистемна техніка", освітня програма "Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої" / Укл.: А. В. Кортун. Запоріжжя: НУ "Запорізька політехніка", 2021. – 10 с.ukсистема орієнтуваннясенсорифоточутливі елементисенсориorientation systemsensorsphotosensitive elementssensoriсистема ориентированиясенсорыфоточувствительные элементысенсорыСилабус дисципліни "Методи діагностики та аналізу мікро- і наноструктур"The syllabus of the discipline "Methods of diagnostics and analysis of micro- and nanostructures"Силлабус дисциплины "Методы диагностики и анализа микро- и наноструктур"Methodological guidelines