Методичні вказівки до практичних занять та самостійної роботи з дисципліни „Вакуумна та плазмова електроніка“ для студентів спеціальності 176 „Мікро- та наносистемна техніка“ (освітня програма: „Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої“) денної й заочної форм навчання

Погосов, Валентин ВальтеровичPoнosov, Valentin VКоротун, Андрій ВіталійовичKorotun, Andrii VНагорна Ніна МиколаївнаNahorna, Nina M.2025-02-172025-02-172024https://eir.zp.edu.ua/handle/123456789/19336Методичні вказівки до практичних занять та самостійної роботи з дисципліни „Вакуумна та плазмова електроніка“ для студентів спеціальності 176 „Мікро- та наносистемна техніка“ (освітня програма: „Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої“) денної й заочної форм навчання / Укл.: В. В. Погосов, А. В. Коротун, Н. М. НаГорна. – Запоріжжя: НУ «Запорізька політехніка», 2024. – 64 с.UK: В методичних вказівках можна знайти інформацію та завдання до лабораторних робіт за такими темами: - вакуум - трубопровід - насос - молекула - довжина вільного пробігу EN: In the methodological instructions, you can find information and tasks for laboratory works on the following topics: - vacuum - pipeline - pump - molecule - length of free runukвакуумтрубопровіднасосvacuumpipelinepumpМетодичні вказівки до практичних занять та самостійної роботи з дисципліни „Вакуумна та плазмова електроніка“ для студентів спеціальності 176 „Мікро- та наносистемна техніка“ (освітня програма: „Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої“) денної й заочної форм навчанняMethodical instructions for practical classes and independent work in the discipline "Vacuum and plasma electronics" for students of specialty 176 "Micro- and nanosystem engineering" (educational program: "Micro- and nanoelectronic devices and devices") of full-time and part-time forms of educationMethodological guidelines