Методичні вказівки до практичних робіт з дисципліни “Технологія виробництва напівпровідникових матеріалів”

Abstract

UK: В даних методичних вказівках викладено фізико-хімічні основи технологічних процесів виробництва напівпровідникових матеріалів. Наведено основні положення технології вирощування монокристалів, знання яких необхідно для вирішення практичних завдань, представлені довідкові дані для проведення розрахунків. EN: These instructions outline the physico-chemical basis of technological processes for the production of semiconductor materials. The main provisions of the technology of growing single crystals, the knowledge of which is necessary for solvsng practical problems, the background data for calculations are presented. RU: В данных методических указаниях изложены физико-химические основы технологических процессов производства полупроводниковых материалов. Приведены основные положения технологии выращивания монокристаллов, знание которых необходимо для решения практических задач, представленные справочные данные для проведения расчетов.

Description

Методичні вказівки до практичних робіт з дисципліни “Технологія виробництва напівпровідникових матеріалів” для студентів спе-ціальності 153 – “Мікро- та наносистемна техніка” денної і заочної форм навчання / уклад.: Г.В. Сніжной, А.В. Коротун. – НУ «Запорізька політехніка», 2020. – 53 с.

Citation