Визначення залежності впливу суміші газів на підвищення якості катодів для іонно-плазмового напилення
Loading...
Date
2023
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Національний університет «Запорізька політехніка»
Abstract
UK: Удосконалення технологічних режимів виплавки катодів, що розпилюються, на основі нікелю системи Ni-Cr-Al-Y з метою підвищення їх якості, а саме – зменшення загальної кількості дефектів у вигляді несплошностей, пор, непроплавів і підвищення гомогенності структури і хімічного складу та використання у якості захисної атмосфери інертних газів, найбільш розповсюдженими з яких є гелій та аргон.
EN: Improvement of the technological modes of smelting sputtering cathodes based on nickel of the Ni-Cr-Al-Y system in order to improve their quality, namely, to reduce the total number of defects in the form of discontinuities, pores, non-melts and increase the homogeneity of the structure and chemical composition and use in qualities of the protective atmosphere of inert gases, the most widespread of which are helium and argon.
Description
Омельченко О.С. Визначення залежності впливу суміші газів на підвищення якості катодів для іонно-плазмового напилення [Текст] / О.С. Омельченко, Н.В. Шалева, В.С. Єфанов // Нові матеріали і технології в металургії та машинобудуванні. – 2023. – No 3. – С. 34-39.
Keywords
nickel alloy, melt, ingot, cathode, нікелевий сплав, плавка, злиток, катод