Математична модель іонно-плазмової обробки поверхні скла

Abstract

Description

Шрам О. А. Математична модель іонно-плазмової обробки поверхні скла / О. А. Шрам, А. С. Кавун, Є. В. Коваленко // Тиждень науки-2020. Електротехнічний факультет. Тези доповідей науково-практичної конференції, Запоріжжя, 13-17 квітня 2020 р. / Редкол. : В. В. Наумик (відпов. ред.) Електрон. дані. – Запоріжжя : НУ «Запорізька політехніка», 2020. – С. 27-29.

Citation