Основи метрології

Abstract

UK: Викладені основні поняття та положення теоретичної, прикладної і законодавчої метрології. Як приклад вимірювань, розглянуті методи вимірювань параметрів напівровідникових кристалів та мікроструктур. Посібник призначений для студентів, що навчаються по спеціальностям галузі знань «15 Автоматизація та приладобудування». Також, посібник буде корисним для студентів інших спеціальностей вищих навчальних закладів, на яких вивчають основи метрології. EN: The basic concepts and positions of scientific, applied and legal metrology are stated. As an example of measurements, methods for measuring the parameters of semiconductor crystals and microstructures are considered. The study guide is intended for students studying in the field of knowledge "15 Automation and Instrumentation". Also, the study guide will be useful for students of other specialties of higher education institutions, where they study the basics of metrology. RU: Изложены основные понятия и положения теоретической, прикладной и законодательной метрологии. В качестве примера измерений, рассмотрены методы измерений параметров полупроводниковых кристаллов и микроструктур. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по специальностям отрасли знаний «15 Автоматизация и приборостроение». Также, пособие будет полезным для студентов других специальностей высших учебных заведений, на которых изучают основы метрологии.

Description

Основи метрології: [Електронний ресурс]: навч. посіб. / В. У. Ігнаткін, О. В. Томашевський, В. М. Матюшин - Електрон. дані. – Запоріжжя : Запорізький національний техніч-ний університет, 2017. - 1 електрон. опт. диск (DVD-ROM); 12 см. – Назва з тит. екрана.

Keywords

методи вимірювань, похибка вимірювання, метрологічна характеристика, вимірювання параметрів мікроструктур, measurement methods, measurement error, metrological characteristic, measurement of microstructure parameters, методы измерений, погрешность измерения, метрологическая характеристика, измерение параметров микроструктур

Citation