Аналіз процесу вилучення залишків металевої плівки сфокусованим лазерним випромінюванням

Simple item page
dc.contributor.authorБуток, Олександр Миколайович
dc.contributor.authorButok, Olesandr Mykolayovych
dc.contributor.authorЧигіль, Юрій Іванович
dc.contributor.authorChygil, Yuriy Ivanovych
dc.contributor.authorРубіш, Василь Михайлович
dc.contributor.authorRubish, Vasyl Mykhaylovych
dc.contributor.authorКрючин, Андрій Андрійович
dc.contributor.authorKryuchyn, Andriy Andriyovych
dc.date.accessioned2025-11-07T11:53:03Z
dc.date.available2025-11-07T11:53:03Z
dc.date.issued2024
dc.descriptionБуток О. М. Аналіз процесу вилучення залишків металевої плівки сфокусованим лазерним випромінюванням / О. М. Буток, Ю. І. Чигіль, В. М. Рубіш, А. А. Крючин // Сучасні проблеми і досягнення в галузі радіотехніки, телекоммунікацій та інформаційних технологій: Тези доповідей ХІІ Міжнародної науково-практичної конференції (10-12 грудня 2024 р., м. Запоріжжя). – Запоріжжя: НУ «Запорізька політехніка», 2024. – С. 201-203.
dc.identifier.urihttps://eir.zp.edu.ua/handle/123456789/24206
dc.language.isouk
dc.publisherНУ «Запорізька політехніка»
dc.subjectнанолітографія
dc.subjectлазерне випромінювання
dc.subjectабляція
dc.subjectметалеві дефекти
dc.subjectnanolithography
dc.subjectlaser radiation
dc.subjectablation
dc.subjectmetal defects
dc.titleАналіз процесу вилучення залишків металевої плівки сфокусованим лазерним випромінюванням
dc.title.alternativeAnalysis of the Process of Removing Metal Film Residues by Focused Laser Radiation
dc.typeThesis

Files

Original bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
S_201 Butok.pdf
Size:
212.12 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Download

License bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
license.txt
Size:
1.71 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description:
Download

Collections

2024. Сучасні проблеми і досягнення в галузі радіотехніки, телекоммунікацій та інформаційних технологій