Мультифізичні моделі: температурні умови формування та випаровування емітера

Abstract

UK: Удосконалена тривимірна модель формування та випаровування емітера в умовах катодно-дугового осадження тугоплавких металів та їхніх з’єднань. Проведено чисельне моделювання та розрахунки методом скінченних елементів розподілу температури по висоті емітера при різних густинах струму; температури від часу розігріву емітеру; часу до досягнення температури випаровування емітера залежно від густини струму. Встановлено нелінійний характер температурного розподілу по висоті емітера для тугоплавких металів та деяких їхніх з’єднань. Встановлено залежність часу розігрівання емітера від температури. Оцінено ерозію емітера в процесі розігрівання. EN: The three-dimensional model for the formation and evaporation of the emitter under conditions of cathodic arc deposition of refractory metals and their compounds was improved. Numerical simulation and calculation have been realized by finite elements method of temperature distribution along the height of the emitter at various current densities; the temperature dependence on the time of the emitter heating; the time to reach of the evaporation temperature of the emitter, depending on the current density were done. The nonlinear character of the temperature distribution along the height of the emitter for refractory metals and some of their compounds has been established. The dependence of the heating time of the emitter on temperature was established. Erosion of the emitter during of warming up was estimated.