Технологія та конструювання мікросхем

Abstract

UK: Методичні вказівки до виконання лабораторної роботи № 1 “Розрахунки та проектування плівкових елементів мікросхем” з дисципліни «Технологія та конструювання мікросхем» EN: Methodological guidelines forlaboratory work№1 "calculation and design elementsof filmmicrocircuits" discipline "Technology and design of chips" RU: Методические указания по выполнению лабораторной работы №1"Расчеты и проектированиепленочныхэлементовмикросхем" по дисциплине "Технология и конструирование микросхем"

Description

Методичні вказівки до виконання лабораторної роботи № 1 “Розрахунки та проектування плівкових елементів мікросхем” з дисципліни «Технологія та конструювання мікросхем» для студентів професійного напрямку 0910 «Електронні апарати» спеціальності 8.0910001 «Виробництво електронних засобів» усіх форм навчання/ Укл.: О.С.Антоненко, О.С. Пономаренко. – Запоріжжя: ЗНТУ, 2004. – 37с.

Keywords

тонкоплівкова технологія, фотолітографія, тонкоплівковий резистор, тонкоплівковий конденсатор, thin-film technology, photolithography, thin filmresistor, thin filmcapacitor, тонкопленочнаятехнология, фотолитография, тонкопленочный резистор, тонкопленочный конденсатор

Citation