Силабус дисципліни "Основи нанолітографії"
| dc.contributor.author | Коротун, Андрій Віталійович | |
| dc.contributor.author | Korotun, Andriy V. | |
| dc.contributor.author | Коротун, Андрей Витальевич | |
| dc.date.accessioned | 2021-09-27T05:28:12Z | |
| dc.date.available | 2021-09-27T05:28:12Z | |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.description | Силабус дисципліни "Основи нанолітографії" для магістрів, спеціальність 153 "Мікто- та наносистемна техніка", освітня програма "Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої" / Укл.: А. В. Кортун. – Запоріжжя: НУ "Запорізька політехніка", 2021. –8 с. | uk |
| dc.identifier.uri | http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/7874 | |
| dc.publisher | Національний університет «Запорізька політехніка» | uk |
| dc.subject | сенсори | uk |
| dc.subject | sensors | uk |
| dc.subject | сенсоры | uk |
| dc.title | Силабус дисципліни "Основи нанолітографії" | uk |
| dc.title.alternative | The syllabus of the discipline "Fundamentals of nanolithography" | uk |
| dc.title.alternative | Силлабус дисциплины "Основы нанолитографии" | uk |
| dc.type | Methodological guidelines | uk |