Зондування плазменного потоку під час іонно-плазменної модифікації поверхні скла
Loading...
Date
2024
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
НУ "Запорізька політехніка"
Abstract
Description
Кулагін Д. О. Зондування плазменного потоку під час іонно-плазменної модифікації поверхні скла / Д. О. Кулагін, О. О. Шрам // Тиждень науки-2024. Електротехнічний факультет. Тези доповідей науково-практичної конференції, Запоріжжя, 15-19 квітня 2024 р. / Редкол. : Вадим Шаломєєв (відпов. ред.) Електрон. дані. – Запоріжжя : НУ «Запорізька політехніка», 2024. – С. 40-41.
Keywords
зонд, плазма, іонно-плазмова обробка, probe, plasma, ion-plasma modification