Thermal decomposition of indium phosphide in vacuum and atomic hydrogen environment

Abstract

EN: The thermal decomposition of indium phosphide has been investigated by Auger-electron spectroscopy and mass-spectroscopy. Scanning electron microscopy has been used for study of indium islands growth on surface of the compound semiconductor. The role of atomic hydrogen in processes of decomposition and growth of metallic islands was determined by comparing with these processes under vacuum. UK: Дослідження термічної декомпозиції фосфіду індію та морфологічних змін поверхні проводилось за допомогою Оже-електронної спектроскопії, мас-спектроскопії та скануючого електронного мікроскопа. Вплив атомарного водню на процес декомпозиції фосфіду індію, виникнення та ріст індієвих островків визначено завдяки порівнянню з подібними процесами в умовах вакууму.