Вплив параметрів травлення пластин кремнія n-типу на глибину дифузії алюмінію та бору.
Loading...
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
НУ «Запорізька політехніка»
Abstract
Description
Кривоус А. С. Вплив параметрів травлення пластин кремнія n-типу на глибину дифузії алюмінію та бору / А. С. Кривоус, Г. В. Сніжной , А. І. Солодовник // Сучасні проблеми і досягнення в галузі радіотехніки, телекоммунікацій та інформаційних технологій: Тези доповідей ХІІ Міжнародної науково-практичної конференції (10-12 грудня 2024 р., м. Запоріжжя). – Запоріжжя: НУ «Запорізька політехніка», 2024. – С. 188-190.