Методичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни „Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки“
Loading...
Files
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Запорізький національний технічний університет
Abstract
UK: Наведені методичні рекомендації та вказівки до виконання лабораторного практикуму з дисципліни "Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки"
EN: Provides guidelines and instructions to perform laboratory works on discipline "Technology fundamentals of electronics. Thin films"
RU: Приведены методические рекомендации и указания к выполнению лабораторного практикума по дисциплине "Технологические основы электроники. Тонкие пленки"
Description
Методичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни „Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки“ для студентів спеці-альності 6.050801 „Мікро- та наноелектроніка“ денної й заочної форм навчання / Укл.: Є. Л. Жавжаров, А. В. Коротун, Н. А. Смирнова. – Запоріжжя: ЗНТУ, 2014. – 54 с.
Keywords
тонка плівка, плівкові резистори, конденсатори, індуктивності, термічне випаровування, магнетронне розпилення, ВУП-4, ВУП-5, поверхневий опір, адгезія, структура плівки, thin film, film resistors, capacitors, inductance, thermal evaporation, magnetron sputtering, VUP-4, VUP-5, surface resistance, adhesion, the film structure, тонкая пленка, пленочные резисторы, конденсаторы, индуктивности, термическое испарение, магнетронное распыление, ВУП-4, ВУП-5, поверхностное сопротивление, адгезия, структура пленки