Методичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни „Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки“

Simple item page
dc.contributor.authorЖавжаров, Євген Леонідович
dc.contributor.authorЖавжаров, Евгений Леонидович
dc.contributor.authorZhavzharov, Evgen L.
dc.contributor.authorКоротун, Андрій Віталійович
dc.contributor.authorКоротун, Андрей Витальевич
dc.contributor.authorKorotun, Andriy V.
dc.contributor.authorСмирнова, Ніна Анатоліївна
dc.contributor.authorСмирнова, Нина Анатольевна
dc.contributor.authorSmirnova, Nina A.
dc.date.accessioned2015-03-19T11:22:06Z
dc.date.available2015-03-19T11:22:06Z
dc.date.issued2014
dc.descriptionМетодичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни „Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки“ для студентів спеці-альності 6.050801 „Мікро- та наноелектроніка“ денної й заочної форм навчання / Укл.: Є. Л. Жавжаров, А. В. Коротун, Н. А. Смирнова. – Запоріжжя: ЗНТУ, 2014. – 54 с.uk
dc.description.abstractUK: Наведені методичні рекомендації та вказівки до виконання лабораторного практикуму з дисципліни "Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки" EN: Provides guidelines and instructions to perform laboratory works on discipline "Technology fundamentals of electronics. Thin films" RU: Приведены методические рекомендации и указания к выполнению лабораторного практикума по дисциплине "Технологические основы электроники. Тонкие пленки"uk
dc.identifier.urihttp://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/89
dc.language.isoukuk
dc.publisherЗапорізький національний технічний університетuk
dc.subjectтонка плівкаuk
dc.subjectплівкові резистори, конденсатори, індуктивностіuk
dc.subjectтермічне випаровуванняuk
dc.subjectмагнетронне розпиленняuk
dc.subjectВУП-4, ВУП-5uk
dc.subjectповерхневий опірuk
dc.subjectадгезіяuk
dc.subjectструктура плівкиuk
dc.subjectthin filmuk
dc.subjectfilm resistors, capacitors, inductanceuk
dc.subjectthermal evaporationuk
dc.subjectmagnetron sputteringuk
dc.subjectVUP-4, VUP-5uk
dc.subjectsurface resistanceuk
dc.subjectadhesionuk
dc.subjectthe film structureuk
dc.subjectтонкая пленкаuk
dc.subjectпленочные резисторы, конденсаторы, индуктивностиuk
dc.subjectтермическое испарениеuk
dc.subjectмагнетронное распылениеuk
dc.subjectВУП-4, ВУП-5uk
dc.subjectповерхностное сопротивлениеuk
dc.subjectадгезияuk
dc.subjectструктура пленкиuk
dc.titleМетодичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни „Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки“uk
dc.title.alternativeМетодичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни „Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки“ для студентів спеці-альності 6.050801 „Мікро- та наноелектроніка“ денної й заочної форм навчанняuk
dc.title.alternativeМетодические указания к лабораторному практикуму по дисциплине „Технологические основы электроники. Тонкие пленки“uk
dc.title.alternativeMethodical instructions for laboratory course in the discipline "Technology fundamentals of electronics. Thin films“uk
dc.typeOtheruk

Files

Original bundle
Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
M04975.pdf
Size:
1.1 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Методичні вказівки
Download
License bundle
Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
1.71 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description:
Download

Collections

Навчально-методичний комплекс дисциплін кафедри ІБ та Н