Метрологічні характеристики сканувального тунельного мікроскопа

Abstract

UK: Описано призначення, область застосування, принципи роботи та будову сканувального тунельного мікроскопа (СТМ). Розглянуто негативні фактори, що впливають на якість зображення СТМ – вібрації, акустичні завади, термодрейф – та методи їх усунення або нейтралізації. Виконано розрахунки граничної роздільної здатності СТМ у нормальному та повздовжньому відносно поверхні зразка напрямках. EN: The purpose, scope, principles of operation and structure of the scanning tunneling microscope (STM) are described. Negative factors influencing the image quality of STM - vibrations, acoustic interference, thermodrift - and methods of their elimination or neutralization are considered. Calculations of the maximum resolution of STM in the normal and longitudinal relative to the surface of the sample directions were performed.