Дослідження факторів, які впливають на роздільність електронного просвічувального мікроскопа

Abstract

UK: Розглянуто вплив аберацій, дробового і теплового шуму на роздільну здатність ПЕМ. Виконано розрахунки зміщення фокусу магнітної системи, спричиненого шумами в корпусі приладу, і граничної роздільної здатності для типових значень параметрів ПЕМ. EN: The influence of aberrations, fractional and thermal noise on the TEC resolution is considered. Calculations are made of the displacement of the focus of the magnetic system caused by noise in the device case and the limiting resolution for typical values of the TEC parameters. RU: Рассмотрено влияние аберраций, дробного и теплового шума на разрешение ПЭС. Выполнены расчеты смещение фокуса магнитной системы, вызванного шумами в корпусе прибора, и предельной разрешения для типичных значений параметров ПЭС.