Моделирование дефектной структуры бездислокационных монокристаллов кремния на стадии роста кристалла
Loading...
Date
2008
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Класичний приватний університет
Abstract
UK: Розробка моделі дефектоутворення в бездислокаційних монокристалах кремнію з можливістю моделювання і отримання бездислокаційних монокристалів кремнію з заздалегідь заданою дефектною структурою, а також управління нею під час наступних технологічних впливах.
EN: Development of a model of defect formation in dislocation-free silicon single crystals with the possibility of modeling and obtaining dislocation-free silicon single crystals with a predetermined defect structure, as well as its control during subsequent technological influences.
RU: Разработка модели дефектообразования в бездислокационных монокристаллах кремния с возможностью моделирования и получения бездислокационных монокристаллов кремния с заранее заданной дефектной структурой, а также управления ею при последующих технологических воздействиях.
Description
Таланин В.И., Таланин И.Е., Сирота А.В. Моделирование дефектной структуры бездислокационных монокристаллов кремния на стадии роста кристалла / Матеріали Всеукраїнської науково-практичної конференції «Системний аналіз і управління» КПУ. 23-24 жовтеня 2008. Запоріжжя : Класичний приватний університет. Т.2.- С.159-160.
Keywords
growth microdefects, heterogeneous diffusion model, dislocation-free silicon single crystals, crucible zone melting, ростові мікродефекти, гетерогенна диффузиона модель, бездіслокаційні монокристали кремнію, бестигельне зонне плавлення, ростовые микродефекты, гетерогенная диффузионная модель, бездислокационные монокристаллы кремния, безтигельная зонная плавка