Моделирование дефектной структуры бездислокационных монокристаллов кремния на стадии роста кристалла
| dc.contributor.author | Таланін, Віталій Ігорович | |
| dc.contributor.author | Таланін, Ігор Євгенович | |
| dc.contributor.author | Сирота, Анатолій Васильович | |
| dc.contributor.author | Talanin Vitaliy I. | |
| dc.contributor.author | Talanin, Igor E. | |
| dc.contributor.author | Sirota, Anatolij V. | |
| dc.contributor.author | Таланин, Виталий Игоревич | |
| dc.contributor.author | Таланин, Игорь Евгеньевич | |
| dc.contributor.author | Сирота, Анатолий Васильович | |
| dc.date.accessioned | 2019-11-25T12:20:42Z | |
| dc.date.available | 2019-11-25T12:20:42Z | |
| dc.date.issued | 2008 | |
| dc.description | Таланин В.И., Таланин И.Е., Сирота А.В. Моделирование дефектной структуры бездислокационных монокристаллов кремния на стадии роста кристалла / Матеріали Всеукраїнської науково-практичної конференції «Системний аналіз і управління» КПУ. 23-24 жовтеня 2008. Запоріжжя : Класичний приватний університет. Т.2.- С.159-160. | uk |
| dc.description.abstract | UK: Розробка моделі дефектоутворення в бездислокаційних монокристалах кремнію з можливістю моделювання і отримання бездислокаційних монокристалів кремнію з заздалегідь заданою дефектною структурою, а також управління нею під час наступних технологічних впливах. EN: Development of a model of defect formation in dislocation-free silicon single crystals with the possibility of modeling and obtaining dislocation-free silicon single crystals with a predetermined defect structure, as well as its control during subsequent technological influences. RU: Разработка модели дефектообразования в бездислокационных монокристаллах кремния с возможностью моделирования и получения бездислокационных монокристаллов кремния с заранее заданной дефектной структурой, а также управления ею при последующих технологических воздействиях. | uk |
| dc.identifier.uri | http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/4985 | |
| dc.language.iso | ru | uk |
| dc.publisher | Класичний приватний університет | uk |
| dc.subject | growth microdefects | uk |
| dc.subject | heterogeneous diffusion model | uk |
| dc.subject | dislocation-free silicon single crystals | uk |
| dc.subject | crucible zone melting | uk |
| dc.subject | ростові мікродефекти | uk |
| dc.subject | гетерогенна диффузиона модель | uk |
| dc.subject | бездіслокаційні монокристали кремнію | uk |
| dc.subject | бестигельне зонне плавлення | uk |
| dc.subject | ростовые микродефекты | uk |
| dc.subject | гетерогенная диффузионная модель | uk |
| dc.subject | бездислокационные монокристаллы кремния | uk |
| dc.subject | безтигельная зонная плавка | uk |
| dc.title | Моделирование дефектной структуры бездислокационных монокристаллов кремния на стадии роста кристалла | uk |
| dc.title.alternative | Defective Structure Modeling dislocation-free silicon single crystals at the stage of crystal growth | uk |
| dc.title.alternative | Моделювання дефектної структури бездислокаційних монокристалів кремнію на стадії росту кристалу | uk |
| dc.type | Article | uk |