Методичні вказівки до практичних занять та самостійної роботи з дисципліни „Вакуумна та плазмова електроніка“ для студентів спеціальності 176 „Мікро- та наносистемна техніка“ (освітня програма: „Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої“) денної й заочної форм навчання
Loading...
Files
Date
2024
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Національний університет «Запорізька політехніка»
Abstract
UK: В методичних вказівках можна знайти інформацію та завдання до лабораторних робіт за такими темами:
- вакуум
- трубопровід
- насос
- молекула
- довжина вільного пробігу
EN: In the methodological instructions, you can find information and tasks for laboratory works on the following topics:
- vacuum
- pipeline
- pump
- molecule
- length of free run
Description
Методичні вказівки до практичних занять та самостійної роботи з дисципліни „Вакуумна та плазмова електроніка“ для студентів спеціальності 176 „Мікро- та наносистемна техніка“ (освітня програма: „Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої“) денної й заочної форм навчання / Укл.: В. В. Погосов, А. В. Коротун, Н. М. НаГорна. – Запоріжжя: НУ «Запорізька політехніка», 2024. – 64 с.
Keywords
вакуум, трубопровід, насос, vacuum, pipeline, pump