Методичні вказівки до практичних занять та самостійної роботи з дисципліни „Вакуумна та плазмова електроніка“ для студентів спеціальності 176 „Мікро- та наносистемна техніка“ (освітня програма: „Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої“) денної й заочної форм навчання
| dc.contributor.author | Погосов, Валентин Вальтерович | |
| dc.contributor.author | Poнosov, Valentin V | |
| dc.contributor.author | Коротун, Андрій Віталійович | |
| dc.contributor.author | Korotun, Andrii V | |
| dc.contributor.author | Нагорна Ніна Миколаївна | |
| dc.contributor.author | Nahorna, Nina M. | |
| dc.date.accessioned | 2025-02-17T06:52:53Z | |
| dc.date.available | 2025-02-17T06:52:53Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.description | Методичні вказівки до практичних занять та самостійної роботи з дисципліни „Вакуумна та плазмова електроніка“ для студентів спеціальності 176 „Мікро- та наносистемна техніка“ (освітня програма: „Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої“) денної й заочної форм навчання / Укл.: В. В. Погосов, А. В. Коротун, Н. М. НаГорна. – Запоріжжя: НУ «Запорізька політехніка», 2024. – 64 с. | |
| dc.description.abstract | UK: В методичних вказівках можна знайти інформацію та завдання до лабораторних робіт за такими темами: - вакуум - трубопровід - насос - молекула - довжина вільного пробігу EN: In the methodological instructions, you can find information and tasks for laboratory works on the following topics: - vacuum - pipeline - pump - molecule - length of free run | |
| dc.identifier.uri | https://eir.zp.edu.ua/handle/123456789/19336 | |
| dc.language.iso | uk | |
| dc.publisher | Національний університет «Запорізька політехніка» | |
| dc.subject | вакуум | |
| dc.subject | трубопровід | |
| dc.subject | насос | |
| dc.subject | vacuum | |
| dc.subject | pipeline | |
| dc.subject | pump | |
| dc.title | Методичні вказівки до практичних занять та самостійної роботи з дисципліни „Вакуумна та плазмова електроніка“ для студентів спеціальності 176 „Мікро- та наносистемна техніка“ (освітня програма: „Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої“) денної й заочної форм навчання | |
| dc.title.alternative | Methodical instructions for practical classes and independent work in the discipline "Vacuum and plasma electronics" for students of specialty 176 "Micro- and nanosystem engineering" (educational program: "Micro- and nanoelectronic devices and devices") of full-time and part-time forms of education | |
| dc.type | Methodological guidelines |